Étude des propriétés thermochromes des couches minces de VO2 non dopées et de W-VO2 dopées graduellement par une nouvelle technique

Abstract

"Dans ce mémoire, les couches minces thermochromes de VO2 ont été fabriquées sur les substrats de verre par la méthode de couplage pulvérisation et oxydation thermique contrôlée. Ensuite, le dopage graduel des films de VO2 par le W a été fait par une nouvelle technique développée dans notre laboratoire. La technique consiste à déposer une couche mince du dopant directement sur une fraction de la surface de la cible en utilisant un masque fait de petits trous. Les échantillons de VO2 non dopés et dopés au W (W-VO2) ont été étudiés par des méthodes de caractérisation électrique, optique, morphologique et structurale. Enfin, certains des films ont été traités en bombardant la surface du film avec un faisceau d'atomes d'argon à haute énergie (0,75 kV et 20 mA) en utilisant un canon à faisceau atomique rapide (FAB gun), dans le but d’étudier aussi l’effet de ce bombardement sur les propriétés thermochromes de ces échantillons. Mots clés: Couche mince - Dioxyde de vanadium - Matériau thermochrome -Température de transition - Cycle d’hystérésis - Dopage - Canon-FAB."--Extrait du résumé.